掃描電鏡的像差主要有哪些類型？

掃描電鏡（SEM）的像差主要來自電子光學系統中電子束的聚焦與成像缺陷，常見的類型主要有以下幾類：

掃描電鏡可以做三維重構嗎？

掃描電鏡（SEM）是能實現三維重構的，但它本身并不是直接拍 3D 圖像的，而是通過一系列手段間接獲得三維表面信息。

在掃描電鏡（SEM）中，樣品充電主要發生在非導電或低導電材料表面，因為入射電子無法及時導走，逐漸積累形成靜電電荷，導致圖像亮度變化、漂移甚至失真。

掃描電鏡（SEM）的樣品臺常見的運動方式主要包括以下幾類，每種運動方式都對應不同的調節需求：

掃描電鏡（SEM）能看到的最小結構，取決于顯微鏡的類型、電子槍性能、探測器類型以及樣品制備情況。

有區別，而且在操作方法、樣品制備、成像效果等方面差別不小。

非導電樣品在掃描電鏡（SEM）中直接成像時容易出現電荷積累（charging）問題，導致圖像漂移、發亮斑點或模糊。

在掃描電鏡（SEM）下，樣品充電（charging）主要發生在非導電或低導電材料表面，因為電子束轟擊后產生的多余電荷無法及時泄放。