提高掃描電鏡（SEM）圖像的邊緣清晰度，本質(zhì)上是提升圖像的分辨率和信噪比，減少拖影、模糊和偽影，讓細(xì)節(jié)邊緣更銳利。以下是幾個(gè)實(shí)用的方法，按從設(shè)備參數(shù)到樣品處理的角度來(lái)講：

1. 優(yōu)化聚焦和光斑尺寸（Spot Size）

調(diào)整工作距離（WD）：縮短工作距離通常能提高分辨率，邊緣細(xì)節(jié)更清晰；

減小光斑尺寸：越小的電子束束斑，成像越銳利；

微調(diào)透鏡電流/聚焦：在邊緣區(qū)域反復(fù)小幅調(diào)焦，直到邊緣清晰。

2. 降低電子束加速電壓（如從20?kV降到5–10?kV）

高電壓易產(chǎn)生電子穿透和擴(kuò)散，導(dǎo)致邊緣發(fā)虛；

低電壓減少電子散射深度，更適合表面邊緣成像；

特別對(duì)非金屬或涂層樣品有更好邊緣成像效果。

3. 減小掃描速度，提高像素?cái)?shù)

使用慢速掃描（長(zhǎng)幀時(shí)間）積累更多信號(hào)，減少圖像噪聲；

提高分辨率（如2048×2048像素），邊緣更細(xì)膩；

結(jié)合多幀平均或降噪算法處理更佳。

4. 樣品處理要得當(dāng)

導(dǎo)電鍍層：非導(dǎo)體樣品應(yīng)噴金或碳鍍層，防止充電模糊邊緣；

樣品固定牢靠：避免震動(dòng)和漂移影響邊界對(duì)焦；

樣品表面應(yīng)清潔平整，避免污染物干擾邊緣成像。

5. 使用邊緣增強(qiáng)濾波器（軟件處理）

后處理可用邊緣增強(qiáng)濾波或?qū)Ρ榷日{(diào)整提高邊緣銳度；

有些SEM軟件自帶實(shí)時(shí)銳化或后期圖像處理工具；

或?qū)С鰣D像用 ImageJ、Photoshop 進(jìn)行邊緣提取或銳化操作。

6. 檢查電子束穩(wěn)定性與樣品漂移

若圖像邊緣模糊但中心清晰，可能是束斑不穩(wěn)或樣品飄動(dòng)；

保持樣品和平臺(tái)穩(wěn)定，必要時(shí)開啟束斑穩(wěn)定模式（Beam stabilization）或溫度控制。