使用掃描電鏡（SEM）時(shí)經(jīng)常出現(xiàn)圖像模糊、漂移、 charging、噪點(diǎn)多等問題，大部分與樣品、操作和環(huán)境有關(guān)，按以下方法可快速解決。

圖像模糊、不清晰

原因：聚焦不準(zhǔn)、像散未校正、樣品表面不平整或有污染。

解決：重新調(diào)焦、消像散，清潔樣品表面。

圖像漂移、慢慢移動(dòng)

原因：真空未穩(wěn)定、樣品帶電、溫度變化、系統(tǒng)未預(yù)熱。

解決：等待真空穩(wěn)定，加強(qiáng)樣品導(dǎo)電性，保持環(huán)境恒溫。

電荷積累（charging）、圖像發(fā)白閃爍

原因：樣品不導(dǎo)電、束流過高、掃描時(shí)間過短。

解決：做導(dǎo)電處理，降低加速電壓，延長(zhǎng) dwell time。

噪點(diǎn)多、亮點(diǎn)、條紋干擾

原因：腔體污染、探頭污染、電子槍狀態(tài)不穩(wěn)、外部干擾。

解決：清潔樣品與腔體，檢查設(shè)備狀態(tài)，減少振動(dòng)磁場(chǎng)。

成像偏暗、細(xì)節(jié)不足

原因：亮度對(duì)比度不合適、束流偏低、探頭工作異常。

解決：調(diào)整參數(shù)，優(yōu)化探頭工作模式。

真空抽不上或速度慢

原因：樣品潮濕、腔體或密封圈不干凈、漏氣。

解決：烘干樣品，清潔密封圈，檢查漏氣點(diǎn)。

整體而言，SEM 成像異常大多來自樣品導(dǎo)電、干燥度、清潔度、環(huán)境穩(wěn)定。做好這幾點(diǎn)，就能獲得穩(wěn)定清晰的顯微圖像。