掃描電子顯微鏡可以用于化學分析，尤其是表面分析。然而，SEM本身并不直接提供化學信息。相反，它提供高分辨率的表面形貌圖像。

為了進行化學分析，通常需要將能量散射譜或者電子能譜儀與SEM結合使用。這兩種技術都允許對樣品進行元素分析。

能量散射譜： 能量散射譜是一種通過探測樣品表面上的X射線來分析其元素組成的技術。當高能電子轟擊樣品表面時，產(chǎn)生的X射線具有特定的能量，與元素的特征能級相對應。EDS探測器可以測量這些X射線，并通過分析它們的能譜來確定樣品中的元素。

電子能譜儀：電子能譜儀利用電子束與樣品相互作用時的電子能量損失來提供化學信息。通過測量透射電子束的能量損失，可以獲得關于樣品中元素的化學信息。

ZEM18臺式掃描電鏡

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