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掃描電鏡成像清晰但對比度很低

日期:2026-01-26

掃描電鏡成像已經清晰但整體對比度很低,通常不是分辨率問題,而是信號類型和參數匹配不當造成的。不同品牌、不同型號的掃描電鏡在對比度表現和調節邏輯上確實不一樣,理解原理后再結合設備特點選擇設置,效果會明顯改善。

首先看加速電壓。加速電壓偏高時,信號來自較深層,表面成分和形貌差異被“平均”掉,就會顯得灰蒙蒙。適當降低加速電壓,可以增強表面敏感度,對比度通常會提升。

其次是束流大小。束流過小雖然圖像清晰,但信噪比低,灰度層次拉不開,看起來就缺乏反差。在不過曝、不損傷樣品的前提下,適當增大束流,有助于提高對比度。

探測器選擇也非常關鍵。二次電子成像更強調形貌對比,適合看表面起伏;背散射電子成像更強調成分和原子序數差異。如果用錯了探測器,即使對焦再好,對比度也可能很低。

對比度和亮度的聯動調節容易被忽視。亮度調得過高時,灰階被壓縮,對比自然下降。應先把亮度壓到不過曝,再慢慢拉對比度,而不是反過來。

工作距離同樣有影響。工作距離過短時,對比度可能偏低但分辨率高;適當增加工作距離,犧牲一點分辨率,往往能換來更好的層次感。

如果樣品導電性不好,表面輕微充電也會“抹平”對比度。這種情況下可以降低電壓、減小束流,或做導電處理,再重新成像。


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作者:澤攸科技


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