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掃描電鏡圖像局部過曝怎么處理

日期:2026-01-14

掃描電鏡圖像出現局部過曝,說明局部信號強度過高,已經超過探測器或顯示范圍,需要從成像參數和樣品狀態兩方面來處理。

先從亮度和對比度入手。適當降低亮度或探測器增益,避免強信號直接被拉到飽和區。不要只調對比度,否則容易把正常區域壓暗,卻仍然保留過曝區域。

再看束流和加速電壓。束流過大是局部過曝的常見原因,尤其在高倍觀察時。可以適當降低束流或加速電壓,讓電子與樣品的相互作用減弱,亮區就不會那么刺眼。

檢查樣品是否存在充電效應。非導電區域容易積累電荷,導致局部信號突然增強,看起來像過曝。改善方法包括噴金、噴碳、降低加速電壓或使用低真空模式。

調整掃描參數也很有效。減慢掃描速度、啟用線平均或幀平均,可以平滑信號,減少瞬時高亮點造成的過曝。如果是快速掃描導致的亮度跳變,這一步效果很明顯。

選擇合適的探測器。二次電子探測器對邊緣和突起非常敏感,容易出現亮斑。如果局部過曝嚴重,可以嘗試切換到背散射電子成像,亮度分布通常更均勻。

之后要考慮樣品本身的形貌和成分差異。尖銳邊緣、高原子序數區域本身就會更亮,這不是設備問題,而是成像對比特性。此時應通過參數平衡整體,而不是強行“壓亮”。

實際操作中,建議在目標放大倍數下,先調束流和亮度,再微調對比度,檢查充電和掃描方式。這樣既能壓住過曝,又不至于丟失暗區細節。


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作者:澤攸科技


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