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掃描電鏡樣品充電怎么判斷

日期:2025-12-30

掃描電鏡中樣品是否發生充電,可以通過圖像和成像行為的變化快速判斷。

直觀的表現是圖像不穩定。掃描過程中畫面會出現整體漂移、抖動,或局部區域來回晃動,重復掃描同一區域時位置難以重合,這是典型的充電特征。

其次是亮度異常變化。圖像會突然變亮、變暗,或出現一片發白、發黑的區域,且亮度隨掃描時間不斷變化,而不是保持穩定。

第三是條紋和畸變。畫面中可能出現彎曲的掃描線、不規則條紋,尤其在高倍率下更明顯,重新聚焦也難以消除。

另外,通過參數變化驗證也很有效。適當降低加速電壓或束流后,如果圖像立刻變得穩定、條紋減輕,通??梢源_認之前存在充電問題。

總結來說,圖像漂移、亮度跳變、掃描條紋明顯,且對束流、電壓變化高度敏感,基本都可以判斷樣品發生了充電現象。


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作者:澤攸科技


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