在掃描電子顯微鏡（SEM）成像過程中，樣品表面的充電效應可能會影響圖像質量。充電效應主要是由于電子束與樣品表面相互作用，導致電荷的累積。以下是一些方法，可幫助減輕或避免樣品表面的充電效應：

導電涂層： 在進行掃描電鏡成像前，可以在樣品表面涂覆一層導電性較好的薄層，如金屬或碳。這有助于提高電子的導電性，減少表面充電效應。

樣品預處理： 在樣品進行掃描電鏡成像前，進行一些樣品的預處理步驟，例如金屬涂層、碳涂層或導電涂層，以減輕充電效應。

低電壓成像： 降低掃描電鏡的電子束加速電壓，可以減小電子束與樣品相互作用的強度，減輕充電效應。但需要注意，較低的電壓可能降低圖像分辨率。

工作距離調整： 調整掃描電鏡的工作距離，即樣品到電子透鏡的距離，可以影響電子束的能量分布。通過適當的工作距離調整，可以減輕充電效應。

電荷補償系統： 一些掃描電鏡設備配備了電荷補償系統，可以通過引入相反方向的電子流或離子束來抵消樣品表面的電荷，從而減輕充電效應。

瞬時圖像： 通過在較短時間內獲取圖像，可以減小電子束對樣品的影響，從而減輕充電效應。

避免累積電荷： 盡可能減小電子束對樣品的曝光時間，以避免過長的曝光時間導致電荷的累積。

ZEM20臺式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡成像如何避免樣品表面的充電效應。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢