掃描電鏡中的冷陰極和熱陰極是產生電子束的兩種不同方式，它們之間有以下主要區別：

工作原理：

冷陰極：冷陰極使用冷陰極發射電子的原理。這種電子發射方式不需要加熱，通常基于場發射或費米能級的原理。冷陰極發射電子的方式包括場發射、Schottky型發射、石墨烯、碳納米管等。

熱陰極：熱陰極需要加熱以高溫使材料發射電子。通常使用的熱陰極材料包括鎢、錸等高熔點金屬。電子從熱陰極表面發射，產生電子束。

穩定性和壽命：

冷陰極：冷陰極通常具有較長的壽命和穩定性。由于不需要高溫加熱，冷陰極的壽命可以達到數千小時以上。

熱陰極：熱陰極需要高溫加熱，因此容易受到熱腐蝕和材料疲勞的影響，導致壽命相對較短，通常在幾百小時左右。

啟動時間：

冷陰極：冷陰極幾乎可以瞬間啟動，因為不需要等待加熱達到適當溫度。

熱陰極：熱陰極需要一定時間來加熱至發射電子所需的溫度，因此啟動時間較長。

發射電子束的能量分散：

冷陰極：冷陰極通常能夠產生能量分散較小的電子束，這對于高分辨率成像非常有利。

熱陰極：熱陰極產生的電子束能量分散相對較大，這可能會影響分辨率。

應用：

冷陰極：冷陰極通常用于高分辨率成像，特別是在生物學、納米科學和材料科學領域。

熱陰極：熱陰極在一些應用中仍然有用，如傳統的SEM和透射電子顯微鏡（TEM）等。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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