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掃描電鏡的探針電流是什么?為什么需要控制?

日期:2023-08-14

掃描電子顯微鏡(SEM)中的探針電流是指掃描電子束照射到樣本表面時,每單位時間內(nèi)被樣本表面吸收或散射的電子數(shù)量。探針電流的大小與樣本表面的電子云密度、形態(tài)結(jié)構以及電子束的強度等因素有關。

控制探針電流在SEM中是非常重要的,原因如下:

樣本損傷: 過高的探針電流可能導致樣本表面的電子云被過多地移除,從而造成表面損傷,甚至導致樣本的破壞。這在一些敏感的樣本或者有機材料中特別重要。

圖像質(zhì)量: 探針電流的大小會直接影響SEM圖像的質(zhì)量。過高的探針電流可能導致圖像過度曝光,失去細節(jié)并且產(chǎn)生強烈的反射。相反,適當控制的低探針電流可以獲得更清晰的圖像,減少噪聲和失真。

充電效應: 在一些非導電的樣本上,高電流的電子束可能導致樣本表面的電荷累積,從而引起圖像失真或者偽影。適當?shù)奶结橂娏骺梢詼p輕這種充電效應。

電子束的影響區(qū)域: 控制探針電流可以控制電子束在樣本表面的影響區(qū)域大小。較小的影響區(qū)域有助于獲得更高的圖像分辨率。

樣本保護: 控制探針電流可以延長樣本的壽命,減少在掃描過程中的樣本破壞,從而使SEM的使用更經(jīng)濟有效。

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作者:澤攸科技


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