掃描電子顯微鏡的信號收集系統(tǒng)負責(zé)捕獲和處理由樣品與電子束相互作用產(chǎn)生的信號。以下是信號收集系統(tǒng)的工作原理：

電子-樣品相互作用：當(dāng)高速電子束與樣品表面相互作用時，會產(chǎn)生多種類型的信號，包括二次電子、反射電子、散射電子、X射線等。

探測器：掃描電鏡的信號收集系統(tǒng)通常包括不同類型的探測器，用于檢測和收集樣品產(chǎn)生的不同信號。常見的探測器有：

二次電子探測器：用于檢測和收集由樣品表面產(chǎn)生的二次電子。二次電子探測器通常位于樣品表面附近，并通過收集二次電子來生成圖像，可以提供高分辨率的表面形貌信息。

反射電子探測器：用于檢測和收集由樣品與電子束相互作用后反射的電子。反射電子探測器可以提供有關(guān)樣品的原子序數(shù)和成分信息，對比度較高，用于材料表征和分析。

X射線能譜儀：用于檢測和分析由樣品產(chǎn)生的X射線譜。EDS探測器可以提供有關(guān)樣品元素組成和分布的信息，用于元素分析和成分定量。

信號放大和處理：收集到的信號經(jīng)過放大和處理，以增強信號強度和質(zhì)量。這通常涉及到放大器、濾波器和數(shù)字化系統(tǒng)等。放大和處理的目的是提高信號的可視化和分析能力。

圖像生成和顯示：經(jīng)過信號處理后，信號被轉(zhuǎn)換為圖像，并在掃描電鏡的顯示屏上顯示出來。圖像可以通過掃描電鏡的控制軟件進行調(diào)整和優(yōu)化，以獲得所需的圖像質(zhì)量和對比度。

信號收集系統(tǒng)的設(shè)計和配置會因SEM的型號和配置而有所不同，也會根據(jù)不同的應(yīng)用需求進行定制。它的主要目標是捕獲和利用樣品與電子束相互作用產(chǎn)生的信號，以獲得高分辨率的圖像和詳細的樣品特征信息。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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