掃描電鏡SEM可以通過能譜儀（EDS）來對樣品的成分進行分析。EDS是一種通過測量樣品表面上散射的X射線來確定樣品中元素組成的技術。它可以用于分析幾乎所有的元素，包括輕元素如碳、氧、氮等，以及重元素如金屬和半金屬元素。

EDS分析的步驟如下：

在SEM中選擇合適的工作條件，使得電子束能夠穿透樣品并產生X射線。

將EDS探測器置于樣品表面上，以便探測樣品表面散射的X射線。

當電子束轟擊樣品表面時，樣品中的原子會被激發并產生X射線。不同元素的原子產生的X射線能量不同，因此可以通過測量X射線的能量來確定樣品中元素的組成。

EDS探測器收集散射的X射線并將其轉換成電信號，這些信號被送入電子學放大器和分析器中進行處理。

分析器將信號處理成能譜圖，能譜圖上顯示了樣品中各元素的信號強度和能量。通過與已知標準物質的能譜比對，可以確定樣品中元素的組成。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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